Средни них: Научно-исследовательский институт точного машиностроения (НИИТМ) и Научно-исследовательский институт молекулярной электроники (НИИМЭ).

Вице-премьеру продемонстрировали:

  • специальное технологическое оборудование атомарно-слоевого осаждения разработки НИИТМ, которое используется при создании технологии производства сегнетоэлектрической энергонезависимой памяти;
  • отечественные установки плазмохимического травления для топологических норм 180-90 нм.

Денис Мантуров также ознакомился с уникальной физико-химической аналитической лабораторией НИИМЭ для проведения исследований в области контроля качества технологических сред (жидкие среды, химреактивы).

В мире действуют единицы подобных лабораторий, в Европе — не более трех.