Средни них: Научно-исследовательский институт точного машиностроения (НИИТМ) и Научно-исследовательский институт молекулярной электроники (НИИМЭ).
Вице-премьеру продемонстрировали:
- специальное технологическое оборудование атомарно-слоевого осаждения разработки НИИТМ, которое используется при создании технологии производства сегнетоэлектрической энергонезависимой памяти;
- отечественные установки плазмохимического травления для топологических норм 180-90 нм.
Денис Мантуров также ознакомился с уникальной физико-химической аналитической лабораторией НИИМЭ для проведения исследований в области контроля качества технологических сред (жидкие среды, химреактивы).
В мире действуют единицы подобных лабораторий, в Европе — не более трех.